RBDLA系列双轴精密线轨运动台;RBDLA系列是叠层紧凑的中空外形结构,对于需要高动态性能和微米级直线度的双面LED晶圆加工及检测,以及需要高精度和精确性能的测量应用中至关重要,无论以上任何应用,RBDLA系列的设计都能满足要求。同时使用于CCD成像、LED封装检测等其它制造等行业。特点是:叠层式布局,紧凑型中空结构,分别采用双直线电机和导轨,微动步距20nm,优化后的高动态性能、高精度,集成式线缆管理。如需了解多,欢迎来电咨询!!! QFL3D系列三轴气浮运动台的产品特点;1非接触式气浮导轨结构2重复定位精度±75nm3微动步进5nm4结构紧凑、精度高5优化线缆管理系统6Z轴低摩擦气缸配重减轻Z轴电机出力7根据需求可定制。背景介绍;QFL3D系列是目前我司制造的性能,结构紧凑的三轴气浮运动台。广泛应用于精密加工,测试测量,扫描、半导体及光子学对准等行业。由于非接触式运动,精度高和结构紧凑是行业内的理想选择。直线台设计;QFL3D是一款非接触式预负载气浮直线台,气浮非接触式结构已经证明是精密应用中的理想选择,适用于微纳制造,测试测量和光子学对准等应用,具有体积小,精度高和外观紧凑等特点,无论是微动步进,还是速度稳定性的要求,QFL3D都证明是终的解决方案。如需了解多,欢迎来电咨询!!! QFHDS双轴精密气浮运动台的产品特点;1采用碳化硅陶瓷气浮导轨,性能精度;2速度1m,加速度4g,快速的整定时间;3Y轴双驱双龙门结构,承载能力强;4可选光栅或激光干涉仪位置反馈;5定位精度±0.15um,重复定位精度±75nm;6优化线缆管理系统;7根据需求可定制;背景介绍;随着半导体行业的不断发展,相应的加工检测设备的性能必须提高,我司在运动控制上有着丰富的定位经验,推出了一款平面式H形双轴精密气浮运动台。QFHDS采用有限元分析优化的碳化硅陶瓷结构和气浮轴承补偿设计技术,提高精度的同时,也提供了高动态性能。广泛应用于半导体加工、检测,微纳加工、纳米级飞切抛光加工及高速扫描等行业。如需了解多,欢迎来电咨询!!! QFL3D系列三轴气浮运动台的产品特点;气浮轴承本质上与洁净室环境兼容,高质量的无尘线缆管理系统也符合实验室环境。定制化设计;根据用户实际应用,可以选择单轴,双轴,三轴等多种结构,如单轴Z轴低摩擦气缸配重结构,双轴T形曲面加工结构和三轴间行程大小等都可以接受定制。为使阿贝误差影响到小,各轴也可以定制化,保证精度性能。线缆优化管理;经过多年的研究,线缆管理对精指标度有影响,我们精心优化管线弯曲半径,防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能,使用高质量的电缆,以确保无故障操作,减少停机时间。同时使设备外观整洁,创造良好的作业环境。洁净室兼容性;气浮轴承本质上与洁净室环境兼容,高质量的无尘线缆管理系统也符合实验室环境。如需了解多,欢迎来电咨询!!!